質(zhì)量流量控制器是一種比較常見的測(cè)量?jī)x器，它的使用范圍是很廣泛的，在很多領(lǐng)域中都有使用。質(zhì)量流量控制器與其他的一些流量計(jì)不同，它除了可以進(jìn)行氣體流量的計(jì)量工作之外，還可以控制整個(gè)領(lǐng)域，其技術(shù)是很先進(jìn)的，受到了廣大用戶的好評(píng)。

　　質(zhì)量流量控制器采用帶背光寬溫點(diǎn)陣型液晶顯示器，所有顯示都是中文，功能多而實(shí)用，特別方便使用者操作，減少不必要的麻煩和錯(cuò)誤。質(zhì)量流量控制器無(wú)需預(yù)熱、瞬間啟動(dòng)的特點(diǎn)使得質(zhì)量流量控制器在短短一秒鐘內(nèi)就能開始控制真空鍍膜過程系統(tǒng)的流量，實(shí)時(shí)測(cè)量顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度參數(shù)，并將運(yùn)用溫度與壓力對(duì)流量參數(shù)進(jìn)行充分補(bǔ)充。氣體模塊程序直接通過質(zhì)量流量控制器自帶的屏幕顯示，并可直接通過屏幕按鈕操作切換氣體種類。

　　在使用質(zhì)量流量控制器進(jìn)行作業(yè)時(shí)，結(jié)合我們的質(zhì)量流量控制器使用經(jīng)驗(yàn)及測(cè)試情況，有幾個(gè)方面我們應(yīng)該要注意的：

　　當(dāng)儀表的工作條件變換時(shí)，對(duì)儀表的零位應(yīng)重新加以調(diào)整。同時(shí)，儀表的導(dǎo)管必須水平安裝，要用水平儀校準(zhǔn)。否則將增大工作條件變化對(duì)零位漂移的影響。機(jī)架更不可有震動(dòng)或搖擺等情況故不宜在舶上使用。

　　流量范圍內(nèi)的大量測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行關(guān)聯(lián)運(yùn)算，用小二乘法原理求直線回歸方程，其相關(guān)系數(shù)λ值均在0.999～0.9999范圍內(nèi)，證明儀表具有良好的線性度。但線性度與量程大小有著流量越大，非線性越嚴(yán)重，所以一般把量程限定在0～4標(biāo)升/時(shí)以內(nèi)，以確保良好的線性度。為了能測(cè)量大流量而又保證線性度，質(zhì)量流量控制器可采用分流原理來(lái)擴(kuò)展儀表的量程。如采取旁路管、文丘利管、孔板等配合使用，量程可分別擴(kuò)大到每小時(shí)幾十、幾百、幾千標(biāo)升，直至幾萬(wàn)標(biāo)立方。

　　雖然真實(shí)氣體的比熱隨壓力的不同而有變化甚至某些氣體的變動(dòng)幅度還比較大，但質(zhì)量流量控制器的測(cè)量精度仍能保持桂一定范圍內(nèi)。

　　導(dǎo)管材質(zhì)的選擇，除了考慮耐腐蝕性以外，以選用導(dǎo)熱性能較好的材料為佳。

　　由于質(zhì)量流量控制器這類儀表必須在氣體比熱相對(duì)穩(wěn)定的情況下才能進(jìn)行正常工作所以凡是氣體成分不穩(wěn)定、氣體中央帶霧沫以及工作條件逼近氣體的液化臨界區(qū)等情況由于比熱值很不穩(wěn)定，均不宜使用這種儀表。

　　若改換了一種氣體介質(zhì)，好重新進(jìn)行標(biāo)定。質(zhì)量流量控制器說明書里經(jīng)常是介紹不重新標(biāo)定，而僅根據(jù)兩種氣體的比熱來(lái)?yè)Q算未經(jīng)標(biāo)定的氣體流量雖簡(jiǎn)單方便，但是這樣會(huì)造成較大的誤差，尤其是在高壓下工作時(shí)，我們發(fā)現(xiàn)質(zhì)量流量控制器的靈敏度并不*與比熱成正比關(guān)表，更應(yīng)該要重新標(biāo)定為妥。