國產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器

簡要描述：

國產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

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國產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介：

★高精度，快響應型

★橡膠密封、模擬電路的MFC

★采用DB15型電插頭，標準機械接頭

★兼容

北京氣體質(zhì)量流量控制器用途：

用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

國產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器詳細參數(shù)：

產(chǎn)品型號	D07-19C
產(chǎn)品類型	高精度型,快響應型
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm
產(chǎn)品精度	±1％F.S.(20slm ±2％F.S.)
重復精度	±0.2% FS
線性	±0.5% F.S.(20slm ±0.2% F.S.)
響應時間	≤1.5sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
耐壓	3MPa
密封材料	氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
輸入輸出信號	(0~5)VDC
電源	±15V
閥類型	- 無 -
溫度系數(shù)	Span: ≤±0.1% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃
零點飄移指標	- 無 -
電氣連接	D sub 15 pins Male
工作壓差范圍	(0.1～0.5) MPa
漏率	1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）
標準接頭形式	雙卡套1/8”(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭
表面化學成分	- 無 -
表面粗糙度	- 無 -
抗電磁干擾	CE
重量	1.2Kg